Illantes cerámicos fresados ​​de 5 eixes para equipos semicondutores e salas brancas

No mundo de alto risco da fabricación de semicondutores e os entornos de salas limpas, cada compoñente debe ofrecer un rendemento impecable. EnPFT, especializámonos en artesaníaIllantes cerámicos fresados ​​en 5 eixesque redefinen a precisión e a fiabilidade. Con máis de 20Con anos de experiencia, as nosas solucións están deseñadas para satisfacer as esixentes demandas dos equipos semicondutores, garantindo a estabilidade térmica, o illamento eléctrico e o funcionamento libre de contaminación en entornos ultrasensibles.

Por que elixir os nosos illantes cerámicos fresados ​​de 5 eixes?

1.Capacidades de fabricación avanzadas

As nosas instalacións están equipadas confresadoras CNC de 5 eixes de última xeración, o que permite unha precisión a nivel de micras na conformación de cerámicas avanzadas como a alúmina (Al₂O₃), o carburo de silicio (SiC) e o nitruro de aluminio (AlN). A diferenza dos métodos convencionais, o mecanizado de 5 eixes permite xeometrías complexas, algo fundamental para compoñentes como os pinos de elevación das obleas, as pezas da cámara de deposición e os illantes resistentes ao plasma.

Características principais:

•Precisión:Tolerancia de ±0,005 mm para unha integración sen fisuras en ferramentas de litografía ASML ou sistemas de gravado de Lam Research.
•Versatilidade do material:Optimizado para alúmina ao 99,8 %, SiC de alta pureza e outras cerámicas avanzadas.
•Acabado superficial:Ra <0,2 μm para minimizar a xeración de partículas en salas brancas de clase ISO 1.

2.Enxeñaría de procesos patentada

Os nosos enxeñeiros desenvolveroncontrois de procesos de bucle pechadoque se adaptan á fraxilidade da cerámica durante o mecanizado. Ao combinar técnicas de fresado en seco con amortiguación de vibracións en tempo real, conseguimos superficies sen gretas e unha vida útil prolongada dos compoñentes, mesmo en ciclos térmicos extremos (ata 1600 °C).

Foco na innovación:

•Protocolos para o alivio do estrés:Minimizar as microfracturas nos illantes de AlN para aplicacións de deposición química en fase CVD.
•Tratamentos posteriores ao mecanizado:O prensado isostático en quente (HIP) mellora a densidade e a resistencia á corrosión.

3.Garantía de calidade rigorosa

Todo illante sofreInspección de 12 etapas, incluíndo:

•CMM (Máquina de Medición por Coordenadas)validación de dimensións críticas.
•Probas de fugas de heliopara compatibilidade co baleiro.
•EDS (Espectroscopia de raios X por dispersión de enerxía)para comprobar a pureza do material.

O nosoSistema certificado ISO 9001/14001garante a trazabilidade desde a adquisición de materias primas (obtidas de provedores de nivel 1 como CoorsTek) ata o envasado final.

Aplicacións: onde a precisión se une ao rendemento

Os nosos illantes son de confianza en:

•Ferramentas de gravado e deposición:Compoñentes revestidos de SiC para resistencia ao plasma en módulos de Applied Materials™.
•Implantadores de ións:Pasadores de elevación de alúmina con revestimentos antiestáticos para evitar o esvaramento das obleas.
•Sistemas de metroloxía:Illantes de baixa expansión térmica para etapas de litografía EUV.

Estudo de caso:Un fabricante líder de semicondutores reduciu o tempo de inactividade das ferramentas nun 40 % despois de cambiar aos nosos cabezales de ducha de SiC deseñados a medida, que superaron ás pezas da competencia no procesamento de obleas de 300 mm.

Máis alá da fabricación: unha estratexia de colaboración

•Prototipado rápido:Envía os teus ficheiros CAD e recibe prototipos funcionais en 7 días.
•Embalaxe para salas brancas in situ:Montaxe opcional para sala branca de clase 10 para integración directa de ferramentas.
•Soporte técnico de por vida:Os nosos enxeñeiros ofrecen análises de desgaste e servizos de remecanizado para prolongar o ciclo de vida dos compoñentes.